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题名:
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微光学和纳米光学制造技术 wei guang xue he na mi guang xue zhi zao ji shu / (美)Shanalyn A.Kemme编著 , 周海宪, 程云芳译 |
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ISBN:
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978-7-111-39448-8 价格： CNY66.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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12, 196页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2012 |
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内容提要:
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本书详细介绍了微米光学和纳米光学元件成功的、最新的制造工艺，重点强调了关键性的专业技巧，提供了最新的技术信息，内容包括：面浮雕衍射光学元件、微光学等离子体刻蚀加工技术、使用相位光栅掩模板的模拟光刻术、光学器件的电子束纳米光刻制造技术。 |
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主题词:
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微光技术 高等学校 |
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主题词:
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纳米材料 应用 |
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中图分类法:
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TN223 版次： 5 |
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中图分类法:
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TH74-39 版次： 5 |
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主要责任者:
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凯米 kai mi 编著 |
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次要责任者:
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周海宪 zhou hai xian 译 |
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次要责任者:
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程云芳 cheng yun fang 译 |
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责任者附注:
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著者规范汉译姓：凯米 |
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责任者附注:
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Shanalyn A.Kemme，博士。在美国堪萨斯大学物理系获得硕士学位，此后一直在美国Sandia国家实验室从事微纳米光学制造技术的研究工作。 |
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索书号:
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TN223/2190 |