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题名:
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微机电系统基础 wei ji dian xi tong ji chu / (美)盖德主编 , 赵永梅, 段瑞飞, 季安译 |
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ISBN:
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978-7-111-55733-3 价格： CNY169.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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13,394页 图 27cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2017 |
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内容提要:
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本书提供有关MEMS理论和技术基础的文献和参考。书中除了介绍MEMS在微小尺度方面的物理学、流体力学、力学、光学、电、润滑等，还包含了控制理论、分布式控制及软计算的内容。 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 5 |
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主要责任者:
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盖德 gai de 主编 |
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次要责任者:
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赵永梅 zhao yong mei 译 |
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次要责任者:
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段瑞飞 duan rui fei 译 |
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次要责任者:
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季安 ji an 译 |
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责任者附注:
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Mohamed Gad-el-Hak，1966年于艾因·夏姆斯大学（埃及）获得了他的学士学位（成绩优异），1973年从约翰·霍普金斯大学获得他的流体力学博士学位，在那里他与Stanley Corrsin教授一起工作，目前是位于里士满的弗吉尼亚联邦大学生物医学工程系的伊内兹考迪尔教授和机械工程系的首席教授。 |
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索书号:
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TN4/8024 |