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题名:
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纳机电系统 na ji dian xi tong / (法)劳伦·特拉夫格, (法)朱利安·阿尔卡莫内著 , 曹峥译 |
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ISBN:
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978-7-111-59127-6 价格： CNY59.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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134页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2018 |
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内容提要:
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本书介绍了MEMS（微机电系统）向NEMS（纳机电系统）的演变、NEMS的相关理论和技术以及相关的前沿研究。书中内容主要讨论了NEMS的机电特性、尺度效应带给NEMS的有趣性能以及目前的制造工艺，为该领域目前和未来的研究提供了清晰的叙述。 |
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主题词:
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纳米技术 应用 |
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中图分类法:
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TM7 版次： 5 |
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主要责任者:
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特拉夫格 te la fu ge 著 |
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主要责任者:
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阿尔卡莫内 a er ka mo nei 著 |
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次要责任者:
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曹峥 cao zheng 译 |
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责任者附注:
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劳伦·特拉夫格，法国格勒诺布尔CEA-LETI实验室资深科学家，目前领导CEA-LETI的纳米光子学和光学传感器实验室。 |
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责任者附注:
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朱利安·阿尔卡莫内，法国格勒诺布尔CEA-LETI实验室的MEMS业务研发主管。NEMS器件领域的研究专家。 |
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索书号:
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TM7/2400 |