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题名:
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微纳电子技术 [ 期刊] wei na dian zi ji shu / , |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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29cm |
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出版发行:
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出版地： 石家庄 出版社： 微纳电子技术编辑部 出版日期： 2002- |
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中图分类法:
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TN3 版次： 4 |
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中图分类法:
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TB383 版次： 4 |
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主要责任者:
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李和委 li he wei 主编 |
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主要责任者:
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马健云 ma jian yun 主编 |
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ISSN:
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1671-4776 价格： CNY6.00(2002) |
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附注:
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V.39,no.1为创刊号 |
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责任者附注:
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主编曾为：马健云 |
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责任者附注:
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主办单位曾为：信息产业部电子第十三研究所 |
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内容附注:
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纳米器件与技术 MEMS器件与技术 显微、测量、微细加工技术与设备 |
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继承:
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半导体情报 |
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主要团体责任者:
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中国电子科技集团公司第十三研究所 zhong guo dian zi ke ji ji tuan gong si di shi san yan jiu suo 主办 |
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主要团体责任者:
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信息产业部电子第十三研究所 xin xi chan ye bu dian zi di shi san yan jiu suo 主办 |