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题名:
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MOS集成电路工艺规范 mos ji cheng dian lu gong yi gui fan / 上海元件五厂,上海半导体研究所编 , |
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ISBN:
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价格： CNY0.80 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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196页 21cm |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海科学技术文献出版社 出版日期： 1980 |
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主题词:
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MOS集成电路 规范 |
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中图分类法:
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TN432-65 版次： 4 |
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附注:
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书名原文:Silicon wafer fabrication manual v.2: MOS silicon wafer processing |
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主要团体责任者:
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上海元件五厂 shang hai yuan jian wu chang 译 |
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主要团体责任者:
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上海半导体研究所 shang hai ban dao ti yan jiu suo 译 |
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索书号:
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TN432-65/2110 |