|
题名:
|
电子束扫描曝光技术 dian zi shu sao miao bao guang ji shu / 吴克华著 , |
|
ISBN:
|
价格： CNY3.35 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
424页 29cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 宇航出版社 出版日期： 1985 |
|
主题词:
|
半导体工艺-电子束光刻 |
|
主题词:
|
电子束光刻-半导体工艺 |
|
中图分类法:
|
TN305.7 版次： 4 |
|
主要责任者:
|
吴克华 wu ke hua 著 |
|
索书号:
|
TN305.7/6024 |