|
题名:
|
微细加工技术 wei xi jia gong ji shu / 蒋欣荣编著 , |
|
ISBN:
|
7-5053-0861-0 价格： CNY3.35 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
405页 20cm |
|
出版发行:
|
出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 1990.6 |
|
内容提要:
|
本书介绍了利用电子束、离子束、光子束、原子束、等离子体、超声等手段,对不同材料进行各种光刻、刻蚀、制膜、掺杂、退火和材料改性及切削、焊接、打孔等微细加工的原理、方法和工艺过程等。 |
|
主题词:
|
特种加工 高等学校 |
|
中图分类法:
|
TG66 版次： 4 |
|
主要责任者:
|
蒋欣荣 jiang xin rong 编著 |
|
附注:
|
高等学校教材 |
|
索书号:
|
1 |