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题名:
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RF MEMS器件设计、加工和应用 / 朱健编著 , |
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ISBN:
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978-7-118-08501-3 价格： CNY99.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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23,272页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 2012 |
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内容提要:
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本书主要内容：RF MEMS设计技术、RF MEMS工艺技术、RF MEMS开关、RF MEMS电容和电感、RF MEMS移相器、RF MEMS谐振器、RF MEMS滤波器、RF MEMS天线、RF MEMS封装与可靠性技术、应用于展望。 |
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主题词:
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微电子技术 元器件 |
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中图分类法:
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TN6 版次： 4 |
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主要责任者:
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朱健 编著 |
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索书号:
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TN6/2525 |