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题名:
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电子束曝光微纳加工技术 dian zi shu pu guang wei na jia gong ji shu / 顾文琪主编 , |
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ISBN:
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978-7-5639-1300-8 价格： CNY50.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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310页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京工业大学出版社 出版日期： 2004 |
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内容提要:
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本书系统的介绍了电子束曝光技术的发展历史和原理、系统的组成和分类、应用和发展前景，同时详细介绍了多种先进的电子束曝光机的性能和技术指标。 |
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主题词:
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电子束光刻 半导体工艺 |
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主题词:
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电子束光刻 |
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主题词:
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半导体工艺 |
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中图分类法:
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TN305.7 版次： 4 |
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主要责任者:
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顾文琪 gu wen qi 主编 |
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附注:
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电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著 |