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题名:
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超大规模集成电路 chao da gui mo ji cheng dian lu / (日)岩田穆，(日)角南英夫著 , 彭军译 |
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ISBN:
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978-7-03-020278-9 价格： CNY42.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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309页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2008 |
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内容提要:
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本书介绍VLSI的特征及作用、VLSI的设计、逻辑电路、逻辑VLSI、半导体存储器、集成工艺、平板印刷、刻蚀、氧化、不纯物导入、绝缘膜堆积等内容。 |
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主题词:
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超大规模集成电路 |
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中图分类法:
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TN47 版次： 4 |
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主要责任者:
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岩田穆 yan tian mu 著 |
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主要责任者:
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角南英夫 jiao nan ying fu 著 |
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次要责任者:
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彭军 peng jun 译 |
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附注:
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Technology实用技术 |