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题名:
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微机电系统动力学 wei ji dian xi tong dong li xue / 孟光，张文明著 , |
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ISBN:
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978-7-03-021872-8 价格： CNY58.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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336页 图 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2008 |
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内容提要:
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本书共分7章，主要内容包括：微机电系统及微机电系统动力学科学问题的发展背景、现状和未来的介绍；微驱动原理及尺度效应、微机电系统动力学相关理论基础的概述等。 |
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主题词:
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微电子学 系统动态学 |
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主题词:
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微电子学 |
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主题词:
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系统动力学 |
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中图分类法:
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TM380 版次： 4 |
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主要责任者:
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孟光 meng guang 著 |
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主要责任者:
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张文明 zhang wen ming 著 |
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附注:
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中国科学院科学出版基金资助出版 |