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题名:
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固体薄膜材料与制备技术 gu ti bao mo cai liao yu zhi bei ji shu / 宁兆元编著 , |
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ISBN:
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978-7-03-021206-1 价格： CNY30.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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131页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2008 |
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内容提要:
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本书共分10章，内容包括：薄膜的特征、真空技术基础、等离子体技术基础、薄膜的物理气相沉积、化学气相沉积、膜厚和沉积速率的测量、低介电常数薄膜材料等。 |
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主题词:
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薄膜 工程材料 |
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主题词:
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薄膜技术 |
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主题词:
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薄膜 |
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主题词:
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工程材料 |
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中图分类法:
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TB43 版次： 4 |
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主要责任者:
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宁兆元 ning zhao yuan 编著 |
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附注:
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编著者还有：江美福、辛煜、叶超 |