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题名:
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半导体制造技术 / (美)[奎克]Michael Quirk，[塞尔达]Julian Serda著 , 韩郑生等译 |
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ISBN:
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978-7-121-08944-2 价格： CNY59.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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14,600页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 2009 |
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内容提要:
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全书共分二十章，内容包括：半导体产业介绍、半导体材料特性、器件技术、硅和硅片制备、半导体制造中的化学品、硅片制造中的沾污控制等。 |
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主题词:
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半导体工艺 |
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主题词:
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半导体工艺 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 4 |
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主要责任者:
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奎克 著 |
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主要责任者:
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塞尔达 著 |
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次要责任者:
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韩郑生 译 |
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索书号:
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1 |