题名:
微细加工技术
/ 刘明等编著 ,
ISBN:
7-5025-6077-7 价格： CYN35.00
语种:
chi
载体形态:
177页 图表 26cm
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
化学工业出版社
出版日期： 2004
内容提要:
本书比较系统的介绍了微细加工技术、光学曝光技术、光学分辨率增强技术、电子束光刻技术等内容。
主题词:
特种加工
技术
主题词:
特种加工
中图分类法:
TG66 版次： 4
主要责任者:
刘明
编著
索书号:
1