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题名:
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中国电子信息工程科技发展研究 zhong guo dian zi xin xi gong cheng ke ji fa zhan yan jiu / 中国信息与电子工程科技发展战略研究中心[著] , |
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ISBN:
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978-7-03-062359-1 价格： CNY99.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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72页 图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2020 |
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内容提要:
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本书尝试从芯片大生产制造的角度，介绍芯片制造关键单项工艺和工艺集成技术（与《中国电子信息工程科技发展研究：集成电路产业专题》衔接）。试图以产业发展主流工艺为导向，侧重原理和产业应用实际相结合，尽量避免冗长深奥的物理、化学公式和原理推导。定性地对芯片生产制造工艺中的关键单项工艺进行描述，并在介绍单项工艺后，解释具有复杂系统工程特点的工艺集成技术难点。 |
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主题词:
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集成芯片 制造 中国 |
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主题词:
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电子信息 信息工程 中国 |
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中图分类法:
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G203 版次： 5 |
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主要团体责任者:
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中国信息与电子工程科技发展战略研究中心 zhong guo xin xi yu dian zi gong cheng ke ji fa zhan zhan lue yan jiu zhong xin 著 |
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索书号:
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G203/5062 |