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题名:
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光刻机像质检测技术 Guang Ke Ji Xiang Zhi Jian Ce Ji Shu / 王向朝，戴凤钊等著 , |
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ISBN:
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978-7-03-067355-8 价格： CNY228.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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11,481页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2021 |
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内容提要:
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本书介绍了国际主流的光刻机像质检测技术，涵盖了光刻胶曝光法、空间像测量法、干涉测量法等检测技术，包括初级像质参数、波像差、偏振像差、动态像差、热像差等像质检测技术。 |
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主题词:
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光刻设备 影象质量 |
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中图分类法:
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TN305.7 版次： 5 |
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主要责任者:
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王向朝 Wang Xiang Zhao 著 |
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主要责任者:
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戴凤钊 Dai Feng Zhao 著 |
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附注:
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国家科学技术学术著作出版基金资助出版 |
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索书号:
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TN305.7/1024:2 |