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题名:
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电子薄膜工艺原理 Dian Zi Bao Mo Gong Yi Yuan Li / 金懋昌，张怀武编著 , |
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ISBN:
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978-7-5647-8889-6 价格： CNY80.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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368页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 成都 出版社： 电子科技大学出版社 出版日期： 2021 |
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内容提要:
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本书共12章，内容包括：气体分子在空间的行为、吸附现象、等离子体的基本特性、表面张力与附着、真空技术、化学气相沉积(CVD)、化学溶液沉积(CSD)、化学水浴沉积(CBD)、真空蒸发沉积技术等。 |
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主题词:
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电子材料 薄膜 |
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中图分类法:
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TN04 版次： 5 |
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主要责任者:
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金懋昌 Jin Mao Chang 编著 |
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主要责任者:
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张怀武 Zhang Huai Wu 编著 |
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索书号:
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TN04/8046 |