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题名:
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集成电路制造技术 / 张亚非，段力编著 , |
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ISBN:
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978-7-313-18651-5 价格： CNY88.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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439页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海交通大学出版社 出版日期： 2018 |
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内容提要:
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本书主要讲述集成电路与微纳制造工艺技术，既有基本原理和工艺技术的阐述，也有国内外近期发展状况的介绍。本书把集成电路的工艺技术分类为图形化(光刻)、加法(薄膜的技术)、减法(刻蚀技术)、乘除法(离子注入、sidicide)及其集成电路工程学(良率、可靠性)和集成电路后勤工作(超净间、IC衍生产业链)几大类，便于学生掌握记忆和类推。 |
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主题词:
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集成电路工艺 |
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中图分类法:
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TN405 版次： 4 |
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主要责任者:
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张亚非 编著 |
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主要责任者:
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段力 编著 |
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附注:
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前沿电子信息专业教材系列 |
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索书号:
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1 |