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题名:
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MEMS和微系统——设计与制造 [ 专著] MEMS he ban wei xi tong — — she ji yu zhi zao / (美)徐泰然(Tai-Ran Hsu)著 , 王晓浩等译 |
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ISBN:
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7-111-13226-2 价格： CNY38.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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17,402页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2004 |
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内容提要:
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本书提供了对MEMS技术基础的深入观察，涉及MEMS的力学、物理和材料科学基础，讲解了微系统工程的基本原理，列举了MEMS及其在制造、通信、生物工程、运输和其他领域的应用。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 4 |
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主要责任者:
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徐泰然 xu tai ran 著 |
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次要责任者:
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王晓浩 wang xiao hao 译 |
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索书号:
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TM38/2852 |