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题名:
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精“芯”打造 Jing “ Xin ” Da Zao / 杨晓峰，殳峰编著 , |
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ISBN:
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978-7-5427-8275-5 价格： CNY55.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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120页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海科学普及出版社 出版日期： 2022 |
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内容提要:
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本书主要介绍集成电路制造的各种设备，以青少年熟悉的“武林高手”的形式介绍主要集成电路制造设备，如被称为集成电路制造的“四大金刚”离子注入机、光刻机、刻蚀设备和薄膜沉积设备。 |
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主题词:
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集成电路工艺 半导体工艺设备 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 5 |
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其它题名:
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集成电路的制造设备 |
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主要责任者:
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杨晓峰 Yang Xiao Feng 编著 |
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主要责任者:
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殳峰 Shu Feng 编著 |
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索书号:
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TN305/4762 |