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题名:
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微光机电系统(MOEMS) wei guang ji dian xi tong (MOEMS) / 张文栋，熊继军编著 , |
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ISBN:
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7-111-19266-4 价格： CNY28.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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10,310页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2006 |
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内容提要:
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本书介绍了微光机电系统的国内外发展状况，微器件的结构设计与仿真，常用的微制造技术；重点介绍了各种MOEMS器件，包括微力学器件、RF微器件、微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。 |
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主题词:
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微光技术 应用 |
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主题词:
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微光技术 |
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主题词:
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机电系统 |
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中图分类法:
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TH-39 版次： 4 |
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主要责任者:
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张文栋 zhang wen dong 编著 |
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主要责任者:
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熊继军 xiong ji jun 编著 |
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索书号:
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1 |