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题名:
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光致抗蚀剂:光刻胶 / 中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》组编著 , |
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ISBN:
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13031.600 价格： 0.72 |
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语种:
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chi |
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出版发行:
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出版地： 出版社： 科学出版社 出版日期： 1977-1-1 |
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主题词:
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半导体工艺-电子束光刻 |
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中图分类法:
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TN305.7 版次： TN305.7/5629 |