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题名:
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飞秒激光共振吸收微纳制造机理与实验研究 [ 专著] Fei Miao Ji Guang Gong Zhen Xi Shou Wei Na Zhi Zao Ji Li Yu Shi Yan Yan Jiu / 赵新宇著 , |
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ISBN:
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978-7-5710-1019-5 价格： CNY98.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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157页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 长沙 出版社： 湖南科学技术出版社 出版日期： 2022 |
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内容提要:
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本书主要针对一种基于入射激光光子能量与被加工靶材电子跃迁能级差相等或相近时能够有效提高飞秒激光精密加工效率的共振吸收效应制造方法，进行了电子动力学仿真的机理研究和烧蚀效率实验研究，以阐明共振吸收制造的微观机理，同时探究该方法在实际工程应用中的影响因素和加工规律。 |
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主题词:
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微电子技术 纳米技术 |
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中图分类法:
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TG665 版次： 5 |
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主要责任者:
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赵新宇 zhao xin yu 著 |