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题名:
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MEMS/NEMS谐振器技术 / 张文明，胡开明著 , |
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ISBN:
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978-7-03-075719-7 价格： CNY298.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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475页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2023 |
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内容提要:
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本书主要介绍微/纳机电系统(MEMS/NEMS)谐振器动力学设计理论、分析方法及应用技术。全书共9章，主要包括：介绍MEMS/NEMS技术基础和谐振器技术的发展历程与趋势；阐述EMS/NEMS谐振器的工作原理、谐振结构设计理论及分析技术；介绍谐振器件制备涉及的材料、微纳加工工艺及技术；论述NEMS/NEMS谐振器中存在的丰富非线性现象、复杂动力学行为；介绍微纳尺度下的能量耗散理论、阻尼特性与作用机制及测试方法；详细介绍谐振器件中应用的各种振动激励与检测原理及技术；阐述通道式谐振器检测原理、动力学设计与分析技术；论述微纳尺度下谐振器件的模态弱耦合作用机制、谐振器设计及传感技术；介绍MEMS/NEMS谐振器中存在的典型失效模式与失效机理，并论述多种可靠性评估方法及测试技术。 |
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主题词:
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微机电系统 谐振器 |
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中图分类法:
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TN629.1 版次： 5 |
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主要责任者:
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张文明 著 |
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主要责任者:
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胡开明 著 |
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索书号:
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TN629.1/1206 |