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题名:
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集成电路先进工艺制造 / 陆卫，宋艳汝主编 , |
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ISBN:
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978-7-5478-7044-0 价格： CNY178.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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436页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海科学技术出版社 出版日期： 2025 |
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内容提要:
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本书从集成电路制造的工艺、设备、厂务3个关键内容出发，融合了集成电路制造的理论基础和前沿实践技术，深入浅出地探讨了集成电路制造的全过程。通过大量工艺设备的使用案例分析、实验数据、设备操作标准程序和教学实践视频，帮助读者掌握实际操作。此外，在介绍当前主流制造技术的同时，还深入讲解了产业界量产设备的基本原理、动力需求和应用实践，使读者理解产业界量产设备与科研设备的区别。 |
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主题词:
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集成电路工艺 |
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中图分类法:
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TN405 版次： 5 |
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主要责任者:
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陆卫 主编 |
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主要责任者:
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宋艳汝 主编 |
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附注:
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世纪出版 |
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索书号:
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TN405/7517 |