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题名:
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微细加工技术 / 张甲，王振龙，周丽杰编著 , |
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ISBN:
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978-7-5767-1009-0 价格： CNY68.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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313页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 哈尔滨 出版社： 哈尔滨工业大学出版社 出版日期： 2024 |
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内容提要:
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本书从当前微纳零件及微系统的制造需求出发，论述了微纳尺度下力学、热学、光学、电学等的变化特点，进而从加工原理、加工装备、加工工艺等方面阐述了各类微细加工技术的新进展。全书共11章，内容包括：微细加工技术概述、微机械与微细加工理论基础、微细切削加工技术、微细电火花加工技术、高能场微细加工技术、生长型微细加工技术、硅微细加工技术、LIGA技术、纳米压印技术、自组装加工技术和扫描探针加工技术。 |
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主题词:
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特种加工 |
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中图分类法:
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TG66 版次： 5 |
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主要责任者:
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张甲 编著 |
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主要责任者:
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王振龙 编著 |
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主要责任者:
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周丽杰 编著 |
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附注:
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“十四五”时期国家重点出版物出版专项规划项目 |
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索书号:
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TG66/1260 |