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题名:
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泛谈半导体 fan tan ban dao ti / 叶国光，唐元亭，叶晏玮著 , |
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ISBN:
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978-7-5142-4704-6 价格： CNY128.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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292页 图 27cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 文化发展出版社 出版日期： 2025 |
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内容提要:
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本书分为“半导体理论基础”“半导体器件”“关键半导体设备”“先进工艺制程”“我对未来科技的看法”等6个章节。书中围绕半导体的理论和芯片的工艺开发，介绍了半导体发展的重要性以及目前最先进的芯片工艺与设备，并提供了许多成功的案例及建设性的参考方案。 |
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主题词:
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半导体技术 |
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中图分类法:
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TN3 版次： 5 |
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主要责任者:
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叶国光 ye guo guang 著 |
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主要责任者:
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唐元亭 tang yuan ting 著 |
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主要责任者:
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叶晏玮 ye yan wei 著 |
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责任者附注:
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叶国光，毕业于中国台湾清华大学、后赴日本名古屋工业大学深造，在半导体行业沉淀凝练27年，主要研究方向为化合物半导体器件与ALD、ALE原子层沉积与刻蚀技术，在LED、LD、HEMT、VCSEL的芯片开发和ALD、ALE设备技术等领域具有非常权威的专长；曾担任华南理工大学材料科学研究所客座教授、芬兰派科森纳米科技公司（PicosunOy）中国区负责人，在担任芬兰派科森纳米科技公司中国区负责人期间，积极引进芬兰ALD技术至国内，与国内多家顶尖科研中心与高科技公司成立联合实验室，加速ALD技术在国内的普及，推动国内半导体产业技术升级；目前任职于邑文科技，专注半导体设备国产化，也兼任东南大学集成电路学院研究生导师，培养国内半导体设备制造与工艺的人才。 |
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索书号:
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TN3/6010 |