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题名:
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半导体制造与过程控制基础 ban dao ti zhi zao yu guo cheng kong zhi ji chu / (美)[梅]Gary S. May，[斯帕农斯]Costas J. Spanos著 , 李虹等译 |
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ISBN:
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978-7-111-25665-6 价格： CNY60.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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11,377页 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2009.1 |
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内容提要:
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本书共分10章，详细地研究并阐述了在高产量制造环境中，电子材料和供料转换为完善的集成电路和电子产品的过程和方法。 |
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主题词:
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半导体工艺 |
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中图分类法:
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TN305 版次： 4 |
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主要责任者:
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梅 mei 著 |
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主要责任者:
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斯帕农斯 si pa nong si 著 |
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次要责任者:
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李虹 li hong 译 |
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附注:
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并列题名：Fundamentals of semiconductor manufacturing and process control |
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责任者附注:
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Gary S. May，博士。乔治亚理工大学电子和计算机工程学院的教授。 |
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责任者附注:
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Costas J. Spanos，博士。加州大学伯克利分校工程学院主管研究的副主任。 |
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索书号:
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TN305/4500 |