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题名:
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微机电系统应用 wei ji dian xi tong ying yong / (美)Mohamed Gad-el-Hak编 , 张海霞等译 |
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ISBN:
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978-7-111-26733-1 价格： CNY108.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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10,467页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2009.7 |
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内容提要:
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本书内容包括：惯性传感器、微机械压力传感器、表面微加工器件、微执行器、湍流传感器与执行器、微机器人技术、微型真空泵、非线性动电器件、微液滴发生器等。 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 4 |
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主要责任者:
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Gad-el-Hak Gad-el-Hak 编 |
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次要责任者:
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张海霞 zhang hai xia 等译 |
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附注:
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译自：MEMS applications |
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索书号:
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TN4/1310 |