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题名:
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半导体的检测与分析 ban dao ti de jian ce yu fen xi / 许振嘉主编 , |
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ISBN:
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978-7-03-019462-6 价格： CNY98.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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635页 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2007.8 |
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内容提要:
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本书共分7章。内容包括：引论，半导体的高分辨X射线衍射，光学监测与分析，表面、薄膜成分分析，扫描探针显微学在半导体中的运用，透射电子显微学及其在半导体中的应用和半导体深中心的表征等。 |
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主题词:
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半导体材料 检测 |
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主题词:
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半导体材料 |
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主题词:
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检测 |
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中图分类法:
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TN304.07 版次： 4 |
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主要责任者:
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许振嘉 xu zhen jia 主编 |
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版次:
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第2版 |
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附注:
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中国科学院科学出版基金资助出版 |
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索书号:
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TN304.07/3400=2 |