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题名:
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薄膜材料 bo mo cai liao / (美)[弗罗伊德]L. B. Freund，[苏雷什]S. Suresh著 , 卢磊等译 |
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ISBN:
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978-7-03-013427-1 价格： CNY86.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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19,628页 图 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2007.1 |
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内容提要:
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本书以薄膜材料为中心，系统地介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识，各种物理和化学气相沉积技术和方法，薄膜材料的形核及生长理论等。 |
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主题词:
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薄膜 工程材料 |
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主题词:
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薄膜 |
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主题词:
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工程材料 |
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中图分类法:
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TB383 版次： 4 |
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其它题名:
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应力、缺陷的形成和表面演化 |
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主要责任者:
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[弗罗伊德] [ fu luo yi de ] 著 |
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主要责任者:
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[苏雷什] [ su lei shi ] 著 |
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次要责任者:
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卢磊 lu lei 等译 |
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附注:
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其他题名：应力、缺陷的形成和表面演化 |
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附注:
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译自：Thin film materials : stress, defect formation, and surface evolution |
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索书号:
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TB383/5227 |