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题名:
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微电子机械系统力学性能及尺寸效应 wei dian zi ji xie xi tong li xue xing neng ji chi cun xiao ying / 刘凯，韩光平著 , |
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ISBN:
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978-7-111-25575-8 价格： CNY30.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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11,209页 22cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2009.2 |
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内容提要:
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本书系统地阐述了微电子机械系统尺寸效应理论及其应用，较全面地反映了这一领域的研究现状。 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN405 版次： 4 |
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主要责任者:
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刘凯 liu kai 著 |
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主要责任者:
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韩光平 han guang ping 著 |
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责任者附注:
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刘凯(1957-)，毕业于日本近畿大学，工学博士、教授、博导，现任西安理工大学副校长。 |
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索书号:
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TN405/0077 |