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题名:
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硅化物及其在超大规模集成电路中的应用 gui hua wu ji qi zai chao da gui mo ji cheng dian lu zhong de ying yong / (美)穆拉尔卡(Murarka,S.P.)著 , 赵 英译 |
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ISBN:
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7-310-00046-3 价格： CNY1.30 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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192页 20厘米 |
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出版发行:
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出版地： 天津 出版社： 南开大学出版社 出版日期： 1987.6 |
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内容提要:
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本书较系统地介绍了各种硅化物,探讨了在超大规模集成电路中作为栅、内部互连线以及线的低电阻接触的可应用性,总结了取得的成果,提出了存在的问题和今后研究的方向。 |
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主题词:
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硅化物 应用-超大规模集成电路 |
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主题词:
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超大规模集成电路-硅化物 应用 |
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中图分类法:
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TN47 版次： 1980 |
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主要责任者:
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穆拉尔卡 mu la er ka 著 |
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次要责任者:
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赵英 zhao ying 译 |
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补充题名:
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硅化物 超大 规模 集成电路 |
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科图分类法:
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73.7551 版次： 1974 |
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索书号:
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TN47/4084 |