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题名:
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大规模集成电路工厂洁净技术 da gui mo ji cheng dian lu gong chang jie jing ji shu / (日)铃木道夫等著 , 陈 衡等译 |
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ISBN:
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7-5053-0667-7 价格： CNY24.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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522页 26厘米 |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 1990.9 |
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内容提要:
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本书阐述了当前大规模集成电路生产工艺对洁净技术的要求和今后发展方向、超级洁净室的设计、施工技术问题和应采取的措施、辅助设施超纯水、药品、废水处理和高纯气体等最新应用技术以及洁净室运行管理问题。 |
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主题词:
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大规模集成电路-工厂-净化 |
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主题词:
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工厂-大规模集成电路-净化 |
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主题词:
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净化-工厂-大规模集成电路 |
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中图分类法:
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TN092 版次： |
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主要责任者:
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铃木道夫 ling mu dao fu 著 |
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主要责任者:
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陈衡 chen heng 译 |
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补充题名:
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集成 电路 工厂 洁净 |
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索书号:
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TN092/8398 |