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题名:
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电子束扫描曝光技术 dian zi shu sao miao pu guang ji shu / 吴克华著 , |
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ISBN:
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价格： ￥3.35 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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424页 29cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 宇航出版社 出版日期： 1985 |
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主题词:
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半导体工艺-电子束光刻 |
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主题词:
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电子束光刻-半导体工艺 |
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中图分类法:
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TN14 版次： 3 |
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主要责任者:
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吴克华 wu ke hua 著 |
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索书号:
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TN14/6024 |