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题名:
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光刻技术 guang ke ji shu / 《半导体器件制造技术丛书》编写组编 , |
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ISBN:
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价格： ￥0.22 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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78页 图 19cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 1972 |
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主题词:
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半导体工艺-电子束光刻 |
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主题词:
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电子束光刻-半导体工艺 |
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中图分类法:
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TN305.7 版次： 3 |
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中图分类法:
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TN305 版次： |
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主要团体责任者:
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半导体器件制造技术丛书编写组 ban dao ti qi jian zhi zao ji shu cong shu bian xie zu 编 |
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索书号:
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TN305/2220:9 |