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题名:
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光致抗蚀剂 guang zhi kang shi ji / 中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》组编著 , |
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ISBN:
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价格： ￥0.72 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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190页 19cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 1977 |
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主题词:
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半导体工艺-电子束光刻 |
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主题词:
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电子束光刻-半导体工艺 |
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中图分类法:
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TN305.7 版次： 3 |
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中图分类法:
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TN305 版次： |
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其它题名:
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光刻胶 |
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附注:
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其他题名：光刻胶 |
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主要团体责任者:
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中国科学院化学研究所光致抗蚀剂组 zhong guo ke xue yuan hua xue yan jiu suo guang zhi kang shi ji zu 编著 |
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索书号:
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TN305/5172 |