|
题名:
|
离子注入物理 li zi zhu ru wu li / 罗晋生主编 , |
|
ISBN:
|
价格： ￥1.30 |
|
语种:
|
chi |
|
载体形态:
|
112页 26cm |
|
出版发行:
|
出版地： 上海 出版社： 上海科学技术出版社 出版日期： 1984 |
|
主题词:
|
半导体工艺-离子注入 |
|
主题词:
|
离子注入-半导体工艺 |
|
中图分类法:
|
TN305.3 版次： 3 |
|
主要责任者:
|
罗亚生 luo ya sheng 主编 |
|
索书号:
|
TN305.3/6265 |