题名:	集成电路制造工艺 ji cheng dian lu zhi zao gong yi / 《集成电路制造工艺》编写组编 ,
ISBN:	价格：￥0.60
语种:	chi
载体形态:	213页图表 19cm
出版发行:	出版地：北京出版社：国防工业出版社出版日期： 1971
主题词:	集成电路工艺
中图分类法:	TN405 版次： 3
索书号:	TN405/3127