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题名:
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微细加工技术 Wei Xi Jia Gong Ji Shu / 孙洪涛, 机械电子工业部长沙半导体工艺设备研究所主编 , |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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26cm |
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出版发行:
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出版地： 长沙 出版社： 该刊编辑部 出版日期： 1983- |
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中图分类法:
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TN4 版次： 3 |
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主要责任者:
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孙洪涛 Sun Hong Tao 主编 |
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ISSN:
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价格： 年价￥20.00(1996) |
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附注:
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并列题名：Microfabrication technology |
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内容附注:
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论文及研制报告 译文 综述 |
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主要团体责任者:
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机械电子工业部长沙半导体工艺设备研究所 Ji Xie Dian Zi Gong Ye Bu Chang Sha Ban Dao Ti Gong Yi She Bei Yan Jiu Suo 主办 |
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索书号:
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TN4/4 |