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题名:
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微机电系统基础 wei ji dian xi tong ji chu / (美)刘昶(Chang Liu)著 , 黄庆安译 |
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ISBN:
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978-7-111-22333-7 价格： CNY49.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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11,365页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 机械工业出版社 出版日期： 2007.10 |
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内容提要:
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本书共分16章，概括了基本传感原理和制造方法，讨论了当今MEMS实践中所必须掌握的电学和机械工程基本知识，描述了静电、热、压阻、压电、磁敏感与执行方法，及其相关的传感器与执行器等。 |
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主题词:
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微电机 教材 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TH-39 版次： 4 |
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主要责任者:
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刘昶 liu chang 著 |
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次要责任者:
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黄庆安 huang qing an 译 |
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附注:
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译自：Foundations of MEMS |
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责任者附注:
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刘昶，博士，美国伊利诺斯大学微电子实验室作博士后。 |
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责任者附注:
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黄庆安，东南大学博士，香港科技大学访问学者。 |
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索书号:
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TH-39/0096 |