检索条件： 半导体工艺设备 ( 主题词 )
责任者 张厥宗
出版信息 化学工业出版社 ,2009
ISBN 978-7-122-05690-0
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硅片加工技术
张厥宗.化学工业出版社,2009.
责任者 孙洪涛,机械电子工业部长沙半导体工艺设备研究所
出版信息 该刊编辑部 ,1983-
ISBN
微细加工技术
孙洪涛,机械电子工业部长沙半导体工艺设备研究所.该刊编辑部,1983-.
责任者 杨晓峰,殳峰
出版信息 上海科学普及出版社 ,2022
ISBN 978-7-5427-8275-5
精“芯”打造：集成电路的制造设备
杨晓峰,殳峰.上海科学普及出版社,2022.
责任者 劳拉
出版信息 中国青年出版社 ,2015
ISBN 978-7-5153-2982-6
冬天的秘密
劳拉.中国青年出版社,2015.
责任者 卢睿,李林瑛
出版信息 电子工业出版社 ,2017
ISBN 978-7-121-31227-4
集束型晶圆制造装备调度及其优化算法
卢睿,李林瑛.电子工业出版社,2017.
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