检索条件: 半导体工艺-电子束光刻 ( 主题词 )
责任者 吴克华
出版信息 宇航出版社 ,1985
ISBN
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电子束扫描曝光技术
吴克华.宇航出版社,1985.
责任者 中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》组编著
出版信息 科学出版社 ,1977-1-1
ISBN 13031.600
光致抗蚀剂:光刻胶
中国科学院化学研究所《光致抗蚀剂》组编著.科学出版社,1977-1-1.
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