检索条件: 大规模集成电路-生产工艺 ( 主题词 )
责任者 何华生
出版信息 电子工业出版社 ,1985
ISBN
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基础工艺技术:大规模和超大规模集成电路
何华生.电子工业出版社,1985.
责任者 铃木道夫,陈衡
出版信息 电子工业出版社 ,1990.9
ISBN 7-5053-0667-7
大规模集成电路工厂洁净技术
铃木道夫,陈衡.电子工业出版社,1990.9.
责任者 梁瑞林
出版信息 科学出版社 ,2008
ISBN 978-7-03-021253-5
半导体器件新工艺
梁瑞林.科学出版社,2008.
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