检索条件： 离子注入-半导体工艺 ( 主题词 )
责任者 罗亚生
出版信息 上海科学技术出版社 ,1984
ISBN
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离子注入物理
罗亚生.上海科学技术出版社,1984.
责任者 张光华
出版信息 机械工业出版社 ,1982
离子注入技术
张光华.机械工业出版社,1982.
责任者 佐藤淳一
出版信息 机械工业出版社 ,2022
ISBN 978-7-111-70234-4
图解入门——半导体制造工艺基础精讲
佐藤淳一.机械工业出版社,2022.
ISBN 978-7-111-70801-8
图解入门 半导体制造设备基础与构造精讲
责任者 杨晓峰,殳峰
出版信息 上海科学普及出版社 ,2022
ISBN 978-7-5427-8275-5
精“芯”打造：集成电路的制造设备
杨晓峰,殳峰.上海科学普及出版社,2022.
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