检索条件： 离子注入-半导体 ( 主题词 )
责任者 迈耶,Mayer
出版信息 科学出版社 ,1979
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半导体硅锗中的离子注入
迈耶,Mayer.科学出版社,1979.
责任者 J.W. 迈耶
J.W. 迈耶.科学出版社,1979.
责任者 罗亚生
出版信息 上海科学技术出版社 ,1984
离子注入物理
罗亚生.上海科学技术出版社,1984.
责任者 张光华
出版信息 机械工业出版社 ,1982
离子注入技术
张光华.机械工业出版社,1982.
责任者 G. 卡特,G. Carter,W.A. 格兰特,W.A. Grant
出版信息 国防工业出版社 ,1982
半导体中离子注入
G. 卡特,G. Carter,W.A. 格兰特,W.A. Grant.国防工业出版社,1982.
责任者 不详
出版信息 上海科学技术情报研究所 ,1972
国外半导体电子束曝光离子注入技术动向
不详.上海科学技术情报研究所,1972.
责任者 佐藤淳一
出版信息 机械工业出版社 ,2022
ISBN 978-7-111-70234-4
图解入门——半导体制造工艺基础精讲
佐藤淳一.机械工业出版社,2022.
责任者 本书编委会
出版信息 国防工业出版社 ,1992.5
ISBN 7-118-00496-0
电子工业生产技术手册．8，半导体与集成电路卷
本书编委会.国防工业出版社,1992.5.
ISBN 978-7-111-70801-8
图解入门 半导体制造设备基础与构造精讲
责任者 杨晓峰,殳峰
出版信息 上海科学普及出版社 ,2022
ISBN 978-7-5427-8275-5
精“芯”打造：集成电路的制造设备
杨晓峰,殳峰.上海科学普及出版社,2022.
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