检索条件： 陈译，陈铖颖，张宏怡编著 ( 著者 )
责任者 陈译，陈铖颖，张宏怡编著
出版信息 机械工业出版社
ISBN 978-7-111-79813-2
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芯片制造——半导体真空技术与设备
陈译，陈铖颖，张宏怡编著.机械工业出版社,.
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